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PCE-22紫外臭氧清洗機

簡要描述:PCE-22紫外臭氧清洗機提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-03-30
  • 訪  問  量:838

詳細介紹

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應(yīng)用領(lǐng)域綜合

IMG_256PCE-22紫外臭氧清洗機是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機,其加熱溫度可達150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤濕性,清洗SEM &TEM,紫外對聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。IMG_2591、僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi);
2、溫度范圍:5-40℃;
3、最大相對濕度80%,最高30.5℃,40℃線性降至50%相對濕度;
4、主電源波動不超過額定電壓的10%;
5、污染等級2; 臭氧水平(環(huán)境)測量<45 ppb。
6、去除分子級別的污染物
7、紫外光固化粘合劑
8、紫外光催化
9、氧化PDMS
10、表面消毒
11、刻蝕
12、清洗MEMS 器件
13、清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片IMG_261

產(chǎn)品名稱      

PCE-22紫外臭氧清洗機

產(chǎn)品型號      

PCE-22

主要參數(shù)      

1、功率:最大350W
2、AC 208~240V,單相 50/60Hz

腔體&樣品臺
1、不銹鋼殼體
2、抽屜式樣品臺,以便放樣取樣
3、樣品臺面積310 mm x 320 mm
4、臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上
5、樣品臺與紫外燈的距離:20mm -40mm(可調(diào))
6、樣品臺可以加熱,最高溫度可達150℃
7、可設(shè)置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃
8、設(shè)備運行時間:0.01 秒- 99.9小時

IMG_262 

排氣口
1、直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端
2、請將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實驗室外
3、儀器中不包含橡膠管

IMG_263 

紫外燈
1、可發(fā)出雙波長的水銀燈
2、功率:55W
3、發(fā)出光的波長:254 nm 和 185 nm
4、使用壽命:2500 小時(可更換)
5、照射區(qū)域:200 x 200 mm
6、可以清潔直徑最大為12英寸x 35毫米的晶體晶片。

IMG_264 

產(chǎn)品規(guī)格      

1、尺寸:510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
2、重量:28kgIMG_265

 


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