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1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III是三溫區(qū)滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。本機(jī)可在不同氣氛下,在Z大6″的基片上生長(zhǎng)多種薄膜。
1100℃三溫區(qū)11″管式爐GSL-1100X-11-III是三溫區(qū)大尺寸系列管式爐,爐管直徑達(dá)到11″。本機(jī)廣泛用于真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)材料進(jìn)行燒結(jié)。
大口徑管式真空氣氛爐GSL-1100X采用高純石英管,外徑規(guī)格有6″、8″、8.5″、11″可選,并配有不銹鋼法蘭,可進(jìn)行抽真空或通入其他氣氛氣體操作,主要用于大尺寸樣品燒結(jié)的需求。