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簡(jiǎn)要描述:產(chǎn)品簡(jiǎn)介:SE-VM 是一款高精度快速測(cè)量光譜橢偏儀??赏ㄟ^(guò)橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量,快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析,適用于薄膜材料的快速測(cè)量表征。支持多角度,微光斑,可視化調(diào)平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置,多功能模塊定制化設(shè)計(jì)。高精度橢偏測(cè)量解決方案;超高精度、快速無(wú)損測(cè)量;支持多角度、微光斑、可視化調(diào)平系統(tǒng)功能模塊靈活定制;豐富的數(shù)據(jù)庫(kù)和幾何結(jié)構(gòu)模型庫(kù),保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
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產(chǎn)品型號(hào) | SE-VM光譜橢偏儀 | ||
主要特點(diǎn) | 1、采用高性能進(jìn)口復(fù)合光源,光譜覆蓋可見(jiàn)到近紅外范圍 (380-1000nm) 2、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、PCRSA配置,實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集 3、支持系列配置靈活,可根據(jù)不同應(yīng)用場(chǎng)景支持多功能模塊化定制 4、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù),涵蓋了目前絕大部分的光電材料 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、自動(dòng)化程度:手動(dòng)變角 2、應(yīng)用定位:通用型 3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜 4、分析光譜380-1000nm(可擴(kuò)至210-1650nm) 5、單次測(cè)量時(shí)間:0.5-5s 6、重復(fù)性測(cè)量精度:0.01nm 7、光斑大小:大光斑2-3mm,微光斑200μm 8、入射角調(diào)節(jié)方式:手動(dòng)變角 9、入射角范圍:55-75°(5°步進(jìn)),90° 10、找焦方式:手動(dòng)找焦 11、Mapping行程:不支持 12、支持樣件尺寸:大至180mm | ||
可選配件 | 1 | 溫控臺(tái) |
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2 | Mapping擴(kuò)展模塊 |
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3 | 真空泵 |
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4 | 透射吸附組件 |
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